Anwendungsszenarien: Fotolithographiemaschine, Entwickler, Bewegungsplattform, Prüfausrüstung.

Siliziumkarbidring, keramischer Vakuumsauger, Spannfutter:
Größe: Ø550 bis Ø30mm
Planheit kann erreichen: 2 bis 0,5 Mikrometer
Parallelität kann erreichen: 2 bis 0,5 Mikrometer