Polymer-Elektrostatische Materialien

Polymer-Dielektrische Materialien sind derzeit die am weitesten verbreiteten Elektrostatik-Chuck-Materialien mit dem ausgereiftesten Herstellungsprozess. Nach der Hochpolymer-Modifikationsbehandlung werden die elektrischen, mechanischen, temperaturbeständigen und halogenbeständigen Eigenschaften der Polymer-Dielektrikmaterialien signifikant verbessert. Die Dielektrikmaterialien werden durch integrierte Operationen strukturiert und durch mehrstufige Vakuum-Schwerlaminierung gebildet, wodurch eine dichte dielektrische Isolationsschicht zwischen den internen Elektroden entsteht.

Polymer-Elektrostatischer Chuck

• Hochpolymer-Modifikationstechnologie: Erreicht hohe Volumenwiderstandsfähigkeit und relative Dielektrizitätskonstante, um eine stabilere Klemmkraft zu gewährleisten.
• Hochdichte Dielektrikmaterialien: Reduziert das Risiko von Partikeln und senkt die Ionenmigrationsraten.
• Vielseitige Klemmfähigkeit: Kompatibel mit Wafern aus verschiedenen Materialien.
• Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: Funktioniert gut in Halogen- und Plasmaatmosphären.
• Kostengünstig und kurze Vorlaufzeiten: Geeignet für Prozessentwicklung und Validierung neuer Ausrüstung.

Polymer-Elektrostatischer Chuck mit Heizung

• Mehrzonen-Heizlayout: Fähig zur Implementierung mehrerer Heizzonen (bis zu 20 Zonen) mit ausgezeichneter Temperaturgleichmäßigkeit (±5% bei 150℃).
• Hochdichte Laminationstechnologie: Erreicht durch Vakuumlaminierung, mit einer maximalen Heiztemperatur von 200℃.
• Gleichmäßige Heizkurven: Bietet eine breite Palette von Heizkurveneinstellungen.
• Kostengünstig und kurze Vorlaufzeiten: Geeignet für Prozessentwicklung und Validierung neuer Ausrüstung.