Keramiksaugnäpfe, Trägerplatten, Schleif- und Polierplatten und Dichtungsringe

Anwendungsszenarien: CVD PVD ETCH CMP
Material: hochreines Aluminiumoxid, aluminiumoxidverstärkte Keramik
Reinheit: 99,9%, 99,8% und 99,7% Materialien

Größe: Ø933, Ø576, Ø485, Ø360, Ø280 und Ø150*10~40mm
Planheit kann erreichen: 0,5~0,3 Mikrometer
Parallelität kann erreichen: 2~0,5 Mikrometer