Keramikverdichtungstechnologie

Keramikverdichtungstechnologie ist ein verbessertes Sintierungsverfahren, das während der Forschung und Entwicklung von Aluminiumoxid/Aluminiumnitrid-Keramikelektrostatischen Spannfuttern und Heizungen entwickelt wurde. Der Kern dieser Technologie besteht darin, verschiedene nanogroße Keramikpulver in spezifischen Anteilen durch einzigartige Rührgeräte und Prozesse zu mischen. Diese Mischungen werden dann sprühgranuliert und in Sintereinrichtungen nach einem spezifischen Temperaturverlauf gesintert, was zu hochdichten, stabilen Kristallstrukturen mit gleichmäßiger Volumenwiderstandsfähigkeitsverteilung führt. Elektrostatische Spannfutter, die mit Keramikverdichtungstechnologie hergestellt wurden, weisen eine hohe Dichte, stabile Kristallstrukturen und gleichmäßige Volumenwiderstandsfähigkeitsverteilung auf, was eine zuverlässige Waferklemmleistung in anspruchsvollen Umgebungen wie Hochvakuum, Plasma und Halogen gewährleistet.

Al₂O₃ Elektrostatischer Spannfutter

• Konsistente Klemmkraft: Nutzt Keramikverdichtungstechnologie und Mitbrennprozess zur Steuerung der Volumenwiderstandsfähigkeit, um eine langlebigere Klemmkraft zu erreichen.
• Hochtemperatursintern: Gewährleistet hohe interne Dichte und stabile Kristallstruktur, was eine Klemmkraft über einen breiteren Temperaturbereich ermöglicht.
• Integriertes Mitbrennen: Reduziert Ionenmigration, um langfristige Haltbarkeit zu gewährleisten.
• Haltbarkeit: Fähig zu lang anhaltendem Betrieb in Plasma- und Halogenvakuumumgebungen.

AlN Elektrostatischer Spannfutter

• Kontrollierte Zusammensetzung: Erreicht präzise Steuerung der Volumenwiderstandsfähigkeit durch die Anpassung der konkreten Materialzusammensetzung und -verhältnisse, um die Klemmkraft über einen breiteren Temperaturbereich zu gewährleisten.
• Gleichmäßige Temperaturzonen: Gewährleistet durch Keramikverdichtungssintertechnologie und Mitbrennprozess.
• Hochwertige Fertigung: Integriertes Mitbrennen maximiert die Produktqualität.
• Haltbarkeit: Fähig zu lang anhaltendem Betrieb in Plasma- und Halogenvakuumumgebungen.

Keramik-Elektrostatisches Spannfutter mit Heizung

• Mehrzoniges Heizlayout: Fähig zur Implementierung mehrerer Heizzonen mit ausgezeichneter Temperaturgleichmäßigkeit (±7,5%℃ @350℃).
• Hochdichte Sinterung: Erreicht durch Vakuumlaminiersintertechnologie, mit einer maximalen Heiztemperatur von 550℃.
• Hochwertige Fertigung: Integriertes Mitbrennen maximiert die Produktqualität.
• Haltbarkeit: Fähig zu lang anhaltendem Betrieb in Plasma- und Halogenvakuumumgebungen.