Сценарии применения: фотолитографическая машина, разработчик, платформа движения, испытательное оборудование.

Кольцо из карбида кремния, керамический вакуумный зажим, зажим:
Размер: Ø550 до Ø30 мм
Плоскость может достигать: от 2 до 0,5 микрон
Параллелизм может достигать: от 2 до 0,5 микрон