Полимерные электростатические материалы

Полимерные диэлектрические материалы в настоящее время являются наиболее широко используемыми материалами для электростатических держателей, с наиболее зрелым процессом подготовки. После обработки высокой полимерной модификации электрические, механические, температуростойкость и свойства устойчивости к галогенам полимерных диэлектрических материалов значительно улучшаются. Диэлектрические материалы формируются через интегрированные операции, а затем проходят многоступенчатое вакуумное тяжелое ламинирование, образуя плотный диэлектрический изоляционный слой между внутренними электродами.

Полимерный электростатический держатель

• Технология высокой полимерной модификации: Достигает высокого объемного удельного сопротивления и относительной диэлектрической постоянной, обеспечивая более стабильную силу зажима.
• Материалы высокой плотности диэлектрика: Снижает риск частиц и снижает скорость миграции ионов.
• Универсальная способность зажима: Совместим с подложками из различных материалов.
• Отличная коррозионная стойкость: Производительность в галогеновых и плазменных атмосферах.
• Эффективность по стоимости и короткие сроки выполнения: Подходит для разработки процесса и проверки нового оборудования.

Полимерный электростатический держатель с подогревателем

• Многозонная схема нагрева: Способен реализовать несколько зон нагрева (до 20 зон) с отличной температурной однородностью (±5% ℃ @150℃).
• Технология высокой плотности ламинирования: Достигается через вакуумное ламинирование, с максимальной температурой нагрева 200℃.
• Равномерные кривые нагрева: Предлагает широкий спектр настроек кривых нагрева.
• Эффективность по стоимости и короткие сроки выполнения: Подходит для разработки процесса и проверки нового оборудования.