Сложный тип электростатического чука / подогревателя

Сложный тип электростатического чука и подогреватель совместимы с зажимом различных типов подложек, включая кремний, галлиевый арсенид, карбид кремния и сапфир. Эта совместимость помогает снизить затраты на изменение линии для производителей оборудования и конечных пользователей. Используя технологию синтерованной керамики и технологию модификации полимеров, в сочетании с интегрированным вакуумным ламинированием и термическим склеиванием, эти чуки снижают внутреннее тепловое сопротивление, достигают внутренней температурной однородности и формируют плотный диэлектрический изоляционный слой, улучшая сопротивление миграции ионов.

Сложный тип электростатического чука

• Продвинутые технологии: Использует технологии синтерованной керамики и модификации полимеров для более плотной структуры и меньшего выделения газов.
• Строгий контроль слоев: Обладает точным контролем толщины диэлектрического слоя и группы электродов.
• Универсальная способность зажима: Совместим с подложками из различных материалов.
• Точный контроль удельного сопротивления: Обеспечивает более сильную электростатическую силу зажима.
• Эффективность по стоимости и короткие сроки поставки: Подходит для разработки процесса и валидации нового оборудования.

Сложный тип электростатического чука с подогревателем

• Многозонная схема нагрева: Способен реализовать несколько зон нагрева с отличной температурной однородностью (±3,5% ℃ @150℃).
• Технология высокой плотности ламинирования: Достигается через вакуумное ламинирование, с максимальной температурой нагрева 200℃.
• Равномерные кривые нагрева: Предлагает широкий спектр настроек кривых нагрева.
• Эффективность по стоимости и короткие сроки поставки: Подходит для разработки процесса и валидации нового оборудования.