Керамические вакуумные присоски, несущие пластины, шлифовальные и полировочные пластины и уплотнительные кольца

Сценарии применения: CVD PVD ETCH CMP
Материал: высокочистый алюминий, алюминиево-керамические композиты
Чистота: материалы 99,9%, 99,8% и 99,7%

Размер: Ø933, Ø576, Ø485, Ø360, Ø280 и Ø150*10~40мм
Плоскость может достигать: 0,5~0,3 микрона
Параллельность может достигать: 2~0,5 микрона