Технология керамического спекания

Технология керамического спекания - это улучшенный процесс спекания, разработанный во время исследований и разработок керамических электростатических зажимов и обогревателей из алюминия/нитрида алюминия. Основу этой технологии составляет использование различных наноразмерных керамических порошков, смешанных в определенных пропорциях с помощью уникального оборудования и процессов перемешивания. Эти смеси затем подвергаются распыленной грануляции и спеканию в спекательном оборудовании по определенной температурной кривой, что приводит к высокой плотности, стабильным кристаллическим структурам с равномерным распределением объемного удельного сопротивления. Электростатические зажимы, изготовленные с использованием технологии керамического спекания, обладают высокой плотностью, стабильными кристаллическими структурами и равномерным распределением объемного удельного сопротивления, обеспечивая надежную фиксацию подложки в жестких условиях, таких как высокий вакуум, плазма и галоген.

Электростатический зажим Al₂O₃

• Постоянная сила зажима: Использует технологию керамического спекания и процесс совместного спекания для контроля объемного удельного сопротивления, обеспечивая более долговечную силу зажима.
• Высокотемпературное спекание: Обеспечивает высокую внутреннюю плотность и стабильную кристаллическую структуру, позволяя силе зажима работать в более широком диапазоне температур.
• Интегрированное совместное спекание: Снижает миграцию ионов, обеспечивая долговечность в течение длительного времени.
• Прочность: Способен к продолжительной работе в плазменных и галогенных вакуумных средах.

Электростатический зажим AlN

• Контролируемый состав: Достигается точное управление объемным удельным сопротивлением путем регулировки состава и пропорций бетонного материала, обеспечивая силу зажима в более широком диапазоне температур.
• Однородные температурные зоны: Обеспечивается технологией керамического спекания и процессом совместного спекания.
• Высококачественное производство: Интегрированное спекание максимизирует качество продукции.
• Прочность: Способен к продолжительной работе в плазменных и галогенных вакуумных средах.

Керамический электростатический зажим с обогревателем

• Многозонная схема отопления: Способен реализовать несколько зон отопления с отличной однородностью температуры (±7.5%℃ @350℃).
• Высокая плотность спекания: Достигается благодаря технологии вакуумной ламинации спекания с максимальной рабочей температурой 550℃.
• Высококачественное производство: Интегрированное спекание максимизирует качество продукции.
• Прочность: Способен к продолжительной работе в плазменных и галогенных вакуумных средах.