增强人类能力，推动创新

Preview

关于我们

我们不断努力了解客户在真空环境抓取和清洁环境要求方面面临的挑战。我们以成为真空环境抓取和清洁环境解决方案提供商的领先地位为荣，支持客户的生产目标。

为微电子设备制造商提供更多系统服务，包括半导体

我们不断创新领先的技术解决方案，将增强您的工艺启动时间、产量、吞吐量和安全合规性，同时努力平衡减少环境排放和延长产品寿命周期、降低持续服务成本和降低总体拥有成本等经常相互冲突的要求。

我们为领先的半导体制造工厂提供服务，并努力成为一流的半导体工艺设备服务提供商。我们的产品和技术旨在满足现有和不断发展的工艺要求。我们提供各种高端应用和严格的工艺产品和服务，如静电吸盘、洁净室系统和真空设备系统，以优化从轻载到重载各种应用的性能。

在半导体中间制造阶段，我们的静电吸盘用于要求严格的工艺，如PVD物理气相沉积、CVD化学气相沉积和晶圆真空夹持的ETCH干法刻蚀；在先进封装的后期阶段，薄化工艺，静电吸盘提供了一种强大稳定的晶圆夹持方法，提高了晶圆薄化产量和EFEM/Sorter的效率。

我们是中国Mca/Aln静电吸盘的领先制造商和翻新商。我们密切关注并积极参与半导体技术的发展和创新，并一直在研究静电吸盘（LAM、TEL、AMAT）的可再生技术和修复翻新，用于要求严格的工艺，如PVD物理气相沉积、CVD化学气相沉积和ETCH干法刻蚀。在这一领域，我积累了丰富的技术经验。