基本原则概述

定义

静电吸附技术重新定义了21世纪夹持设备的新形式。类似于电磁铁,它可以通过设置吸附时间和延迟时间来激活和停止对被夹持物体的吸附力。它可以吸附几乎任何物体,如金属、半导体和绝缘体。

静电卡盘,简称ESC或E-CHUCK,在中国被称为静电吸盘或静电卡盘。它是一种基于库仑定律、洛伦兹力定律、J-R效应和电势梯度等原理的新型吸附技术。

根据被吸附物体的材料特性采用不同的吸附方法,从而实现对物体的有效吸附。

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