聚合物静电材料

聚合物介电材料目前是最广泛使用的静电夹持材料，具有最成熟的制备工艺。经过高聚物改性处理后，聚合物介电材料的电气、机械、耐温和抗卤素性能得到显著提高。介电材料通过集成操作进行图案化，然后经历多级真空重型层压，形成内部电极之间的致密介电绝缘层。

聚合物静电夹持器

• 高聚物改性技术: 实现高体积电阻率和相对介电常数，确保更稳定的夹持力。
• 高密度介电材料: 降低颗粒风险，降低离子迁移速率。
• 多功能夹持能力: 与各种材料制成的晶圆兼容。
• 优异的耐腐蚀性: 在卤素和等离子气氛中表现良好。
• 成本效益和短交货时间: 适用于工艺开发和新设备验证。

带加热器的聚合物静电夹持器

• 多区域加热布局: 能够实现多个加热区域（最多20个区域），具有优异的温度均匀性（±5%℃ @150℃）。
• 高密度层压技术: 通过真空层压实现，最高加热温度为200℃。
• 均匀加热曲线: 提供广泛的加热曲线设置。
• 成本效益和短交货时间: 适用于工艺开发和新设备验证。