复杂型静电夹持器/加热器

复杂型静电夹持器和加热器兼容夹持各种晶圆，包括硅、砷化镓、碳化硅和蓝宝石。这种兼容性有助于减少设备制造商和最终用户的线路更换成本。利用烧结陶瓷技术和聚合物改性技术，结合集成真空层压和热粘合，这些夹持器减少内部热阻，实现内部温度均匀性，并形成致密的介电绝缘层，增强离子迁移抗性。

复杂型静电夹持器

• 先进技术: 利用烧结陶瓷和聚合物改性技术，实现更高密度结构和更低气体放散。
• 严格的层控制: 具有对介电层和电极组厚度的精确控制。
• 多功能夹持能力: 兼容各种材料制成的晶圆。
• 精确的电阻率控制: 具有更强的静电夹持力。
• 具有成本效益和短交货时间: 适用于工艺开发和新设备验证。

带加热器的复杂型静电夹持器

• 多区域加热布局: 能够实现多个加热区域，具有优异的温度均匀性（±3.5%℃ @150℃）。
• 高密度层压技术: 通过真空层压实现，最高加热温度为200℃。
• 均匀加热曲线: 提供广泛的加热曲线设置。
• 具有成本效益和短交货时间: 适用于工艺开发和新设备验证。