氧化铝陶瓷零件

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商品介绍

陶瓷吸盘、载板、研磨抛光板和密封圈

应用场景：CVD PVD ETCH CMP
材料：高纯氧化铝、氧化铝增强陶瓷
纯度：99.9%、99.8%和99.7%材料

尺寸：Ø933、Ø576、Ø485、Ø360、Ø280和Ø150*10~40mm
平整度可达：0.5~0.3微米
平行度可达：2~0.5微米

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