陶瓷凝聚技术

陶瓷凝聚技术是在氧化铝/氮化铝陶瓷静电夹具和加热器的研发过程中开发的改进烧结工艺。该技术的核心是使用各种纳米级陶瓷粉末通过独特的搅拌设备和工艺按特定比例混合。然后，这些混合物经过喷雾造粒，并在烧结设备中按照特定的温度曲线烧结，形成高密度、稳定的晶体结构，并具有均匀的体积电阻分布。使用陶瓷凝聚技术制造的静电夹具具有高密度、稳定的晶体结构和均匀的体积电阻分布，确保在高真空、等离子体和卤素等恶劣环境中可靠的晶圆夹持性能。

氧化铝静电夹具

• 一致的夹持力: 利用陶瓷凝聚技术和共烧工艺控制体积电阻，实现更耐用的夹持力。
• 高温烧结: 确保高内部密度和稳定的晶体结构，使夹持力在更广泛的温度范围内。
• 集成共烧: 减少离子迁移，确保长期耐用性。
• 耐用性: 能够在等离子体和卤素真空环境中长时间运行。

氮化铝静电夹具

• 控制组成: 通过调整具体材料组成和比例实现精确的体积电阻控制，确保在更广泛的温度范围内夹持力。
• 温度均匀区域: 通过陶瓷凝聚烧结技术和共烧工艺确保。
• 高质量制造: 集成共烧技术，最大化产品质量。
• 耐用性: 能够在等离子体和卤素真空环境中长时间运行。

带加热器的陶瓷静电夹具

• 多区域加热布局: 能够实现多个加热区域，具有出色的温度均匀性（±7.5%℃ @350℃）。
• 高密度烧结: 通过真空层压烧结技术实现，最高加热温度为550℃。
• 高质量制造: 集成共烧技术，最大化产品质量。
• 耐用性: 能够在等离子体和卤素真空环境中长时间运行。