人間の能力を高め、イノベーションを推進する

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私たちについて

お客様が真空環境グリップや清潔な環境要件に直面する課題を理解し続け、真空環境グリップや清潔な環境のソリューションプロバイダーとしての先導的地位を誇りに思います。お客様の生産性目標をサポートします。

半導体を含むマイクロエレクトロニクスデバイスメーカー向けにより多くのシステムサービスを提供します。

私たちは、プロセスの立ち上げ時間、収量、スループット、および安全規制の向上に役立つ先進的な技術ソリューションを継続的に革新し、環境排出物の削減と製品寿命の延長、継続的なサービスコストの削減、総所有コストの低減というしばしば相反する要件のバランスをとりながら、お客様の要求に応じた製品と技術を提供します。

私たちは、主要な半導体製造工場にサービスを提供し、第一級の半導体プロセス装置サービスプロバイダーを目指しています。私たちの製品と技術は、既存および進化中のプロセスの特定の要件を満たすように設計されています。私たちは、軽荷重から重荷重までのさまざまなアプリケーションのパフォーマンスを最適化するために、静電吸盤、クリーンルームシステム、真空装置システムなどの高度なアプリケーションと厳格なプロセス製品およびサービスを提供しています。

半導体の中間製造段階では、静電吸盤は、ウェハー真空クランピングのPVD物理蒸着、CVD化学蒸着、ETCHドライエッチングなどの厳しいプロセスに使用されます。高度なパッケージングの後段では、薄化プロセス、静電吸盤は強力で安定したウェハークランピング方法を提供し、ウェハー薄化収量とEFEM/Sorterの効率を向上させます。

私たちは、中国のMca/Aln静電吸盤の主要な製造業者およびリフレッシャーです。私たちは半導体技術の開発と革新に積極的に参加し、静電吸盤（LAM、TEL、AMAT）のPVD物理蒸着、CVD化学蒸着、ETCHドライエッチングなどの厳しいプロセスの再生技術と修理リフレッシュ技術を研究してきました。この分野では、豊富な技術経験を積み重ねてきました。