基本原則の概要

定義

静電吸着技術は、21世紀の新しい形態のクランプ装置を再定義しました。電磁石のように、吸着時間と遅延時間を設定することで、保持されている対象物に対する吸着力をアクティブにしたり停止したりできます。金属、半導体、絶縁体など、ほぼすべての対象物を吸着することができます。

静電チャックは、ESCまたはE-CHUCKと略され、中国語では静电吸盘または静电卡盘として知られています。クーロンの法則、ローレンツ力の法則、J-R効果、電位勾配などの原理に基づく新しい吸着技術です。

吸着される対象物の材料特性に基づいて異なる吸着方法が採用され、対象物の効果的な吸着が実現されます。

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