アプリケーションシナリオ：フォトリソグラフィマシン、デベロッパー、モーションプラットフォーム、テスト機器。

炭化ケイ素リング、セラミック真空チャック、チャック：
サイズ：Ø550〜Ø30mm
平坦度：2〜0.5マイクロメートルに達する
平行度：2〜0.5マイクロメートルに達する