ポリマー静電材料

ポリマー誘電体材料は現在、最も広く使用されている静電チャック材料であり、最も成熟した製造プロセスを持っています。高分子改質処理を施した後、ポリマー誘電体材料の電気的、機械的、耐熱性、ハロゲン耐性の特性が大幅に向上します。誘電体材料は統合操作を経てパターニングされ、その後複数段階の真空重層積層を経て、内部電極間に密な誘電絶縁層が形成されます。

ポリマー静電チャック

• 高分子改質技術: 高い体積抵抗率と相対誘電率を実現し、より安定したクランピング力を確保します。
• 高密度誘電材料: 粒子リスクを低減し、イオン移動率を低下させます。
• 多目的クランピング能力: 様々な材料で作られたウェハと互換性があります。
• 優れた耐食性: ハロゲンおよびプラズマ雰囲気での優れたパフォーマンス。
• 費用対効果が高く、リードタイムが短い: プロセス開発および新しい装置の検証に適しています。

ヒーター付きポリマー静電チャック

• マルチゾーンヒーティングレイアウト: 優れた温度均一性（±5％℃ @150℃）で複数のヒーティングゾーン（最大20ゾーン）を実装できます。
• 高密度積層技術: 最大加熱温度200℃で真空積層により達成されました。
• 均一な加熱曲線: 幅広い加熱曲線設定を提供します。
• 費用対効果が高く、リードタイムが短い: プロセス開発および新しい装置の検証に適しています。