複雑タイプの静電チャック / ヒーター

複雑タイプの静電チャックとヒーターは、シリコン、ガリウム砒素、炭化ケイ素、サファイアなどさまざまなウェハをクランプするのに適しています。この互換性により、装置メーカーやエンドユーザーのライン変更コストを削減できます。焼結セラミック技術とポリマー改質技術を活用し、統合真空積層と熱接合を組み合わせることで、これらのチャックは内部熱抵抗を低減し、内部温度均一性を実現し、密な誘電体絶縁層を形成し、イオン移動抵抗を向上させます。

複雑タイプの静電チャック

• 先進技術: より高密度の構造と低アウトガス化のために焼結セラミックとポリマー改質技術を利用しています。
• 厳格な層制御: 誘電体層と電極群の厚さを正確に制御する機能を備えています。
• 多目的クランプ能力: さまざまな材料で作られたウェハと互換性があります。
• 正確な抵抗値制御: より強力な静電クランプ力を可能にします。
• コスト効果的でリードタイムが短い: プロセス開発や新しい装置の検証に適しています。

ヒーター付き複雑タイプの静電チャック

• マルチゾーンヒーティングレイアウト: 優れた温度均一性（±3.5％℃ @150℃）で複数の加熱ゾーンを実装できます。
• 高密度積層技術: 最大加熱温度が200℃に達する真空積層によって達成されます。
• 均一な加熱曲線: 幅広い加熱曲線設定を提供します。
• コスト効果的でリードタイムが短い: プロセス開発や新しい装置の検証に適しています。