ディテール
配送方法:宅配便
製品ディテール
セラミック吸盤、キャリアプレート、研磨プレート、シールリング
適用シナリオ：CVD PVD ETCH CMP
材料：高純度アルミナ、アルミナ強化セラミック
純度：99.9％、99.8％、99.7％の材料
材料：高純度アルミナ、アルミナ強化セラミック
純度：99.9％、99.8％、99.7％の材料
サイズ：Ø933、Ø576、Ø485、Ø360、Ø280、Ø150*10~40mm
平坦度：0.5~0.3マイクロンに達する
平行度：2~0.5マイクロンに達する
平坦度：0.5~0.3マイクロンに達する
平行度：2~0.5マイクロンに達する
