セラミック凝結技術

セラミック凝結技術は、アルミナ/アルミニウム窒化物セラミック静電チャックおよびヒーターの研究開発中に開発された改良焼結プロセスです。この技術の中心は、特定の割合で混合されたさまざまなナノサイズのセラミック粉末を、独自の攪拌装置とプロセスを通じて使用することにあります。これらの混合物は、特定の温度曲線に従って焼結装置でスプレーグラニュレートされ、焼結され、均一な体積抵抗分布を持つ高密度で安定した結晶構造が得られます。セラミック凝結技術を使用して製造された静電チャックは、高密度で安定した結晶構造、均一な体積抵抗分布を示し、高真空、プラズマ、ハロゲンなどの厳しい環境で信頼性のあるウェハークランピング性能を確保します。

Al₂O₃ 静電チャック

• 一貫したクランピング力: セラミック凝結技術と共焼結プロセスを利用して体積抵抗を制御し、より耐久性のあるクランピング力を実現。
• 高温焼結: 高い内部密度と安定した結晶構造を確保し、より広い温度範囲でのクランピング力を実現。
• 統合焼結: イオン移動を減少させ、長期的な耐久性を確保。
• 耐久性: プラズマおよびハロゲン真空環境での長時間の運転が可能。

AlN 静電チャック

• 制御された組成: 具体的な材料組成と比率の調整により、精密な体積抵抗制御を実現し、より広い温度範囲でのクランピング力を確保。
• 均一温度ゾーン: セラミック凝結焼結技術と共焼結プロセスによって確保。
• 高品質製造: 統合焼結により製品品質を最大化。
• 耐久性: プラズマおよびハロゲン真空環境での長時間の運転が可能。

ヒーター付きセラミック静電チャック

• マルチゾーン加熱レイアウト: 優れた温度均一性（±7.5%℃ @350℃）を持つ複数の加熱ゾーンを実装可能。
• 高密度焼結: 最大加熱温度550℃で真空積層焼結技術により達成。
• 高品質製造: 統合焼結により製品品質を最大化。
• 耐久性: プラズマおよびハロゲン真空環境での長時間の運転が可能。